امیرعباس نوفرستی از محققان این طرح در گفت‌وگو با خبرنگار فناوری ایسنا این دستگاه را سامانه لایه نشانی نانو ساختار با زاویه متمایل توصیف کرد و گفت: مخزن این سامانه در اندازه‌های 300،‌ 350 و 400 لیتری طراحی شده است.

وی با بیان این که برای انجام فرآیند تبخبر از دو چشمه استفاده الکترو گان و اسپاترینگ استفاده شده است، اظهار داشت: زمانی که ذرات بخار می‌شوند بر روی زیر لایه‌ها می‌نشینند و چون این دستگاه به صورت چرخان طراحی شده است، نانو ساختارها را ایجاد می‌کند.

نوفرستی، امکان انجام فرآیندها به صورت کنترل شده را از ویژگی‌های این سامانه نام برد و خاطرنشان کرد:‌این امر سبب شده است که فرآیندهای این سامانه به صورت دقیق اجرایی شوند.

محقق طرح قابلیت تغییر این سامانه به سیستم‌های دیگر را از مزایای آن نام برد و یادآور شد: با توجه به نازل‌ها و سیستمی که برای این سامانه طراحی شده قابلیت انجام همزمان چند فرآیند چون توزیع دما و طیف‌نگاری را دارد.

وی در این باره توضیح داد: با بخار شدن چشمه دماهای مختلف توزیع می‌شود و در عین حال می‌توان کارایی آن را تغییر داد به این صورت که کاربر مایل است با این سیستم کاربری‌های دیگری هم داشته باشد که می‌توان با تغییراتی در این سامانه کاربری دستگاه را تغییر داد. به این ترتیب این سامانه بر اساس نیاز مشتری قابل تغییر است.

این محقق به بیان عملکرد این دستگاه پرداخت و ادامه داد: در فرآیند لایه نشانی به روش الکترو گان ابتدا مواد در ظرفی گذاشته می‌شود و با استفاده از یکسری مگننت که در زیر ظرف قرار دارد، میدان‌های مغناطیسی ایجاد و این امر موجب بخار شدن ماده می‌شود. سپس این بخارات در زیر لایه‌ها می‌نشیند.

نوفرستی با تاکید بر اینکه لایه‌های ایجاد شده با استفاده از ضخامت سنج مورد ارزیابی قرار می‌گیرد، اضافه کرد: در روش اسپاترینگ یک کاتد و یک آند وجود دارد و از آنجایی که اختلاف پتانسیلی میان این دو هست،‌با استفاده از گازی که به سیستم تزریق می‌شود موجب یونیزاسیون سیستم خواهد شد.

وی آرگون را از جمله گازهایی دانست که به سیستم تزریق می‌شود و ادامه داد: با یونیزه شدن سیستم بخارات شروع به حرکت کرده و به زیر لایه‌ها می‌نشیند و به این صورت نانو ساختارها ایجاد می‌شوند.

این محقق با بیان اینکه این سامانه در بسیاری از فرآیندهای حوزه فناوری نانو کاربرد دارد، خاطر نشان کرد:‌ سامانه فوق، در تولید سلول‌های خورشیدی، نیمه هادی‌ها و نیمه رساناها کاربرد دارد ضمن آنکه در شرایط آلودگی هوا برای برخی از اندازه گیری‌ها از این سیستم استفاده می‌شود.

به گفته وی ، این دستگاه در سومین نمایشگاه تجهیزات و مواد آزمایشگاهی ساخت ایران جزء طرح‌های کلاس یک قرار داشته است.

انتهای پیام